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中圖儀器激光干涉儀器設(shè)備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強(qiáng)，降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測(cè)量大距離用。

中圖儀器SJ6000機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；也可以實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)。

中圖儀器激光平面干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)，不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測(cè)量大距離用。

中圖儀器SJ6000自制激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析。

中圖儀器品牌的激光干涉儀可以檢測(cè)加工中心及機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的各項(xiàng)精度參數(shù)，使被加工工件符合標(biāo)準(zhǔn)，提高了產(chǎn)出的整體質(zhì)量度。能實(shí)現(xiàn)線性定位精度、直線度、角度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量測(cè)量功能，同時(shí)結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，還能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、直線度和垂直度、扭擺角，記憶校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸精度。

SJ6000深圳工業(yè)激光干涉儀可以實(shí)現(xiàn)一次安裝即可沿任意方向的線性軸同時(shí)測(cè)量5個(gè)自由度的誤差，包括1個(gè)線性誤差、2個(gè)角度誤差和2個(gè)直線度誤差，專門用來(lái)測(cè)量、校準(zhǔn)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)、自動(dòng)化設(shè)備等導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度，尤其是在數(shù)控機(jī)床領(lǐng)域，SJ6000激光干涉儀是強(qiáng)有力的檢測(cè)儀器。