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SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀產(chǎn)品采用進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量

中圖儀器激光干涉儀采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。

SJ6000機床激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量

GTS天線面板平整度激光跟蹤檢測儀可以和多種形式的合作目標(biāo)測頭配合使用，能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題，廣泛應(yīng)用在飛機、汽車、船舶、航天、機器人、核電、軌道交通裝備制造行業(yè)以及大型科學(xué)工程、工業(yè)母機的高精密加工和裝配中。

PLR3000系列高穩(wěn)定光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設(shè)備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。

GTS國產(chǎn)百米空間激光坐標(biāo)跟蹤儀可以和多種形式的合作目標(biāo)測頭配合使用，能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題，廣泛應(yīng)用在飛機、汽車、船舶、航天、機器人、核電、軌道交通裝備制造行業(yè)以及大型科學(xué)工程、工業(yè)母機的高精密加工和裝配中。