SJ6000激光光學(xué)干涉儀是一個(gè)交流測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì)受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化，也不會(huì)因電平變化造成干涉信號(hào)的頻率改變。因此，它的抗擾力強(qiáng)，精度高，測(cè)量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測(cè)和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

性能特點(diǎn)

1、易操作，方便攜帶

SJ6000激光干涉儀和鏡組以及環(huán)境補(bǔ)償器，外形小巧美觀方便攜帶，一套完整的激光干涉儀和鏡組只需要裝在一個(gè)類似于行李箱的工具箱中，整體加起來(lái)的重量輕，再加上一個(gè)可以自由伸縮調(diào)整高度的三腳架（裝在無(wú)紡編織袋中），隨時(shí)隨地可用于機(jī)械測(cè)量。激光干涉儀與環(huán)境補(bǔ)償器都有端口和計(jì)算機(jī)USB接口相連，實(shí)時(shí)傳遞檢測(cè)數(shù)據(jù)，供計(jì)算機(jī)檢定軟件測(cè)算，檢定過(guò)程輕松易掌握，沒(méi)有復(fù)雜的程序設(shè)定。

2、高精確度保證動(dòng)態(tài)性能

氦氖激光器持續(xù)輸出高穩(wěn)頻的激光源，再加上環(huán)境補(bǔ)償器，使線性測(cè)量的精度穩(wěn)定在0.5ppm，動(dòng)態(tài)采集數(shù)據(jù)頻率高達(dá)50KHz，測(cè)量速度4m/sec，高速測(cè)量下的分辨率為1nm。

3、技術(shù)品質(zhì)高

精心的設(shè)計(jì)和嚴(yán)格把關(guān)的制造，持續(xù)提供技術(shù)支持，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量保證都顯得尤為重要，完善的售前、售中、售后和全國(guó)支持網(wǎng)絡(luò)。

4、適用性和靈活性

SJ6000激光干涉儀架設(shè)靈活，對(duì)各種復(fù)雜結(jié)構(gòu)的機(jī)床、平臺(tái)和導(dǎo)軌都具有廣泛適用性，測(cè)量快速簡(jiǎn)便，減少重復(fù)定位測(cè)量的時(shí)間，同時(shí)得到精確直觀的檢測(cè)數(shù)據(jù)。

SJ6000激光光學(xué)干涉儀具有高精確測(cè)量、計(jì)算的系統(tǒng)性能和便攜式操作等特點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。