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SJ6000機床精密測量激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。以光波為載體，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，是一款高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000高精度測量激光干涉儀為機床機定位誤差（螺距補償）、反向間隙修正提供依據(jù)。操作人員通過每個機床軸的補償值來消除機床定位系統(tǒng)中的定位誤差。后期通過對機床軸的補償，可以將誤差降低到幾乎為零的程度，大大提高機床作業(yè)精度。

SJ6000光學(xué)干涉儀對機床運動導(dǎo)軌和滾珠絲桿的各項參數(shù)檢測分析、校準(zhǔn)補償?shù)闹匾裕鴻C床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進(jìn)行多種幾何量精度參數(shù)的測量以及動態(tài)性能的測試、分析。從宏觀角度來講，激光干涉儀對機床工具產(chǎn)業(yè)乃至整個制造工業(yè)的升級，都是功不可沒的。

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀品牌是一個交流測試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時，其頻率不會受光強變化影響發(fā)生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

SJ6000激光光學(xué)干涉儀是一個交流測試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時，其頻率不會受光強變化影響發(fā)生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

中圖儀器激光干涉儀測量集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。