SJ6000激光干涉儀檢測設(shè)備采用高性能氦氖激光器、激光縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)以及納米級的分辨率，集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，是高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品配置

（依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺）

產(chǎn)品特點(diǎn)

SJ6000激光干涉儀檢測設(shè)備具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可以檢測線性、角度、直線度、垂直度等幾何參量的高精度測量，可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備運(yùn)動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。

測量機(jī)床垂直度

測量機(jī)床定位精度

WR50自動精密轉(zhuǎn)臺測量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度

在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

注意事項(xiàng)

1）對角線測量套裝配置需求：對角線測量套裝＋可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡

2）平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

3）平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

4）短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

5）長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

6）直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

配件與證書

SJ6000激光干涉儀以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級，SJ6000激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。內(nèi)置各種類國標(biāo)（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。