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針對測量ITO導電薄膜的應用場景，NS系列臺階厚度儀結合了360°旋轉臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標志位；對于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測量功能，實現(xiàn)一鍵多點位測量；提供SPC統(tǒng)計分析功能，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢。

NS200探針式臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器，可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應面廣，數(shù)據復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

NS200國產臺階儀能夠測量幾個納米到330μm的臺階高度。這使其可以準確測量在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料；可以測量表面的2D形狀或翹曲。也能夠測量在生產中包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件所產生的應力。