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SuperViewW1半導體薄膜光學輪廓無損檢測儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

中圖儀器W1光學全自動三次元輪廓測量儀采用光學干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高，且其隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復性。

SuperViewW1光學輪廓粗糙度儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

光學掃描式成像測量機輪廓儀，以光學成像測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，配合高精度運動機構(gòu)和花崗巖龍門式底座，實現(xiàn)了測量精度、速度、穩(wěn)定的**結(jié)合；結(jié)合高精度圖像分析算法，并融入閃測原理，在測量范圍內(nèi)，任意擺放工件位置、方向、角度，儀器都可自動定位測量對象、匹配模板、測量評價、報表生成，真正實現(xiàn)快速精準測量。

SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀器的X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。

SuperViewW1國產(chǎn)3d光學輪廓儀器是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。