SuperViewW1三維輪廓測量儀器以白光干涉技術(shù)為原理，采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。是一款專用于超精密加工領(lǐng)域的光學(xué)檢測儀器，其分辨率可達(dá)0.1nm。

技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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測量方法

1. 點(diǎn)擊XY復(fù)位，使得鏡頭復(fù)位到載物臺中心

2. 將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；

3.確認(rèn)電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件；

4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋；

5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍；

6.點(diǎn)擊選項圖標(biāo)，確認(rèn)自動找條紋上下限無誤；

7.點(diǎn)擊多區(qū)域測量圖標(biāo)，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區(qū)域形狀；

8.根據(jù)被測物形狀和尺寸，"形狀"欄選擇“橢圓平面"，X和Y方向按需設(shè)置；

9.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開始"圖標(biāo)，儀器即自動完成多個區(qū)域的對焦、找條紋、掃面等操作。

SuperViewW1三維輪廓測量儀器應(yīng)用

在軍事領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度；

在集成電路行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在3C領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；

在EMES行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度；

在光纖通信行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；

在LED行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度。